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適合精密陶瓷高溫?zé)Y(jié)的爐型

2021-07-07 09:31:59

   精密陶瓷是指經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)制成的一類非金屬材料,主要用于半導(dǎo)體及LCD行業(yè)和汽車制造行業(yè),如化學(xué)氣相沉積CVD制程中的AlN噴嘴、原子層沉積制程中的SiC基座、干蝕刻制程中的SiC邊緣環(huán),OLED和LED制造過程能導(dǎo)熱的部件,由于此材料的特殊性,在對于高溫?zé)Y(jié)爐爐型的選擇會有一定的要求。

   燒結(jié)這類材料的用戶,不僅對燒結(jié)的溫度有較高的要求,對燒結(jié)的成品表面顏色也有著很高的要求,一般情況下是要求燒結(jié)出來的產(chǎn)品,表面不能變色或者變色在能接受的范圍內(nèi),這樣一來就得在燒結(jié)的馬弗爐爐型上下功夫了,小編建議,燒結(jié)的量少的話,可以選擇真空管式爐,如果量大,則需要選擇容量更大的氣氛爐或者真空爐了!

    高溫?zé)Y(jié)爐選好型后,我們再來看看燒結(jié)的過程,主要是由原料調(diào)整→成形→燒結(jié)→加工、組裝→檢查所構(gòu)成,但為因應(yīng)產(chǎn)品特性的變動,制程需要和原料的特性搭配得非常適宜,才能獲得所需的產(chǎn)品。原料的特性包含粒子直徑、粒子形狀、流動與充填特性及化學(xué)成份等主要變量,這些變量都會直接影響陶瓷成形與燒結(jié)的過程及制品的特性,因此充分掌握這些變量,才能順利掌控整個制程,從這個過程中看,對于這類材料的燒結(jié),技術(shù)要求比較高,不僅對箱式氣氛保護爐選型有要求,還要對整個材料的專業(yè)技術(shù)把控,才能燒結(jié)出更好的產(chǎn)品!

    箱式氣氛爐爐體法蘭密封結(jié)構(gòu),在材料的熱處理過程中,可以 通入氮氣、氣氣、氧氣等保護性氣體,用于碳材料、金屬材 料、生物質(zhì)材料的熱處理,也可用于鋰電池三元材料的燒結(jié),他具有以下特點

    產(chǎn)品特點

*爐門法蘭式結(jié)構(gòu),PTFE密封圈,螺旋壓緊裝置,密封性好

*爐體可抽真空,可在真空下工作,真空度-O.IMpa

*PID溫度控制系統(tǒng)和陶瓷纖維隔熱材料

*比真空爐成本低廉,性價比高

*爐頂配備水冷系統(tǒng),可有降低爐子的表面散熱溫度,發(fā)熱體的正常使用

*可選裝浮子流量計和氣體混氣裝置

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